壓阻式壓力感測器 (Piezoresistive Pressure Sensor)
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壓力感測器 (又稱壓力傳感器或壓力變送器) 是一種藉由感測元件對氣體或液體、固體等介質壓力來感應其物理變化量，進而將它轉化為電氣訊號，再經由感測器內的比較電路、濾波電路、訊號放大及補償電路等進行訊號處理，來獲得一等比輸出的電流 (4-20 mA) 或電壓 (0-5 Vdc/ 0-10 Vdc/ 1-5 Vdc/ 1-6 Vdc/ 0.5-4.5 Vdc/ 0.5-4.5 Vdc Ratiometric) 模擬訊號。
為了因應各種不同環境的壓力檢測需求而令壓力感測器不斷地的推陳出新，然而決定壓力感測器的優劣條件始終在於精確度、靈敏度 (解析度)、重複性、響應速度、線性度、總誤差及適用範圍。舉例來說，陶瓷電容式壓力感測器具有相當低廉的價格優勢，但其「非線性輸出」特性卻使得使用者在系統建構上不易對應；而壓阻式壓力感測器雖具有較高的材料成本，相對的在「線性輸出」與絕佳的靈敏度以及響應速度等特性卻不遜於壓電式壓力感測器。 鉝豐電子科技所代理銷售的不鏽鋼薄膜壓力感測器依其感測元件技術的不同包含有：氣相沉積式 (CVD)、濺射薄膜式 (STF)、微機械電子式 (MMS)、電容式 (Capacitance)、數位輸出等五大類型產品，壓力感測器本體外殼與感應膜片採用 17-4 PH不鏽鋼 (航太工業用高硬度鋼材) 或 316L不鏽鋼材質一體成型製成，最大破裂壓力可達 40 倍滿量程壓力，且壓力感測器中無使用任何橡膠密封，沒有化學相容性問題，能廣泛的應用於各種氣體、液體、油脂、化學溶劑等介質環境，全量程溫度補償設計更讓壓力感測器能夠在極端惡劣的環境中穩定工作，是目前市場上C/P值最高，適用範圍最廣、使用上最安全、可靠度最高的壓力感測器產品。 ✻ gEMS 壓力感測器產品分類表 (Pressure Sensors Selection Guide) |
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￭ 氣相沉積式壓力感測器 (CVD Pressure Sensors)
• 產品系列：1200, 1600, 2200, 2600, 3300, 6700 series • 典型應用：氦氣測漏, 真空鍍膜, 電漿蝕刻, 高壓滅菌機, 高壓萃取, 高壓液相層析, 液位檢測與控制 |
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￭ 不鏽鋼薄膜式壓力感測器 (Thin Film Pressure Sensors)
• 產品系列：1100, 3100/3200, 31CS/32CS, 31EP/32EP, 31IS/32IS, 3800/3820, 4000, 4700 series • 典型應用：空調系統, 射出成形, 冷凍乾燥, 水泵, 液位控制, 車輛潤滑控制, 煞車液壓, 醫療氣體, 過程紀錄 |
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￭ 微機械電子式壓力感測器 (MMS Pressure Transducers)
• 產品系列：2400, 3500, 9500/9600 series • 典型應用：深井量測, 水處理, 真空測漏 |
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￭ 不鏽鋼電容式壓力感測器 (Capacitance Pressure Transducers)
• 產品系列：809, 820, 830, 856, 865, 876, 890, 5000 series • 典型應用：半導體製造, 吸收式冷水機, 激光器, 高壓滅菌器, 冷凍乾燥, 真空蒸餾 |
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